[뉴스투데이=모도원 기자] 글로벌 반도체 기업들의 경기도 투자 유치가 잇따르고 있다. 민선 8기 들어 어플라이드머티어리얼즈(미국)과 온세미컨덕터(미국), 도쿄일렉트론(일본)에 이어 세계 최대 반도체 노광분야 기업 ASML이 경기도에 반도체 클러스터 건설을 시작했다. 

16일 김동연 경기도지사는 화성시 동탄로에 위치한 ASML 코리아 신사옥 부지 착공식에서 “경기도가 ASML 뿐만 아니라 어플라이드머티어리얼즈, 램리서치, 도쿄 일렉트론 등 반도체 장비사 세계 1~4위의 차세대 연구소를 유치하고 투자를 받는 쾌거를 이뤘다”라며 “ASML 반도체 클러스터 착공을 계기로 대한민국 반도체의 새로운 생태계가 조성됐다. 경기도가 반도체 허브로 도약하는 기회가 될 거라 확신한다”라고 말했다.

■ 경기도 관계자 "ASML과의 협업은 미래 기술력을 위한 혁신 생태계 조성"

ASML은 동탄2 도시지원시설 용지 약 1만6000㎡ 부지에 부품 재제조 시설(재생센터)과 교육센터, 체험관 등을 집적화한 클러스터를 2024년 12월 준공해 입주할 예정이다.

세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업인 ASML은 주로 웨이퍼(반도체 원판)에 설계된 회로패턴을 그리는 노광장비를 생산한다. 초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점적으로 생산해 공급하고 있다.

삼성전자와 SK하이닉스를 포함한 글로벌 반도체 기업들은 ASML이 공급하는 EUV가 없으면 차세대 파운드리와 디램 반도체 제조가 불가능하다. 한 대에 수천억을 호가하지만, 인텔과 TSMC, 마이크론 등 차세대 반도체 기업들이 ASML의 장비를 확보하기 위해 각축전을 벌이는 이유다.

경기도의 한 관계자는 “보통 삼성전자나 SK하이닉스가 보유하고 있는 EUV가 고장나면 네덜란드에 있는 ASML 본사로 보낸다. 워낙 첨단 기술이 들어가다 보니 한번 맡기면 수리가 완료되기까지 6개월이 소요된다”라며 “그런 문제로 2019년부터 한국에 부품수리센터를 지어 수리와 업그레이드를 진행했었는데 그 백업 기술력을 인정받아 이번 투자에서 아예 재제조 센터로 크게 확대하는 것이다”라고 말했다.

그는 이어 “국내에서 ASML의 EUV를 수리한다는 얘기는 그 과정에서 국내 인력이 투입될 것이고 더불어 국내 중소형 반도체 기업들이 그 공급망에 해당하기 때문에 직관적으로 협력이 일어날 수밖에 없다”라고 말했다.

이번 ASML의 투자로 경기도에는 EUV 등 반도체 산업의 가치사슬(밸류체인)이 구축될 전망이다. 그간 부품수리센터가 취급하던 대상 부품이 기존 22개에서 50개 품목으로 늘어남에 따라 경기도 내 반도체 중소기업들과의 협력도 강화된다. 특히 반도체 장비를 수리하는 과정에서 ASML의 배경 기술 또한 습득할 수 있다는 이점도 있다.

ASML은 반도체 클러스터에 부품 재제조 시설(재생센터)뿐만 아니라 교육센터, 체험관 등을 함께 운영한다. 국내·외 ASML 직원과 고객사의 극자외선(EUV) 등 장비 전문가 교육이 함께 이뤄져 미래 반도체 기술을 위한 공동협력이 강화된다.

경기도의 한 관계자는 “(ASML과의 협력은) 단순히 공급망 강화로 보기보다 미래 기술력을 위한 혁신 생태계 조성이라는 부분이 크다”라며 “R&D 센터나 재제조 센터 유치를 통해 관련 기술을 습득하는 동시에 함께 협력해서 미래 기술을 개발하는 협력의 의미가 크다”라고 강조했다.